一、规模
本规范规矩了真空蒸腾镀膜设备的型式和基本参数、技能要求、实验办法、查验规矩及象征、包装、运送、储存等要求。
本规范适用于极限压力在以lO-4pa~ 以1O.3 Pa规模的真空蒸腾镀膜设备(以下简称设备) 0
二、规范性引证文件
下列文件中的条款经过本规范的引证而变成本规范的条款。但凡注日期的引证文件，其随后一切的修正单(不包括订正的内容)或修订版均不适用于本规范，但是，鼓舞依据本规范达成协议的各方研讨是不是可运用这些文件的最新版别。但凡不注视期的引证文件，其最新版别适用于本规范。
1) GBrr 191 包装储运图示象征CGBrr 191-2000, eqvIS0780: 1997)
2) GBrr 6070 真空法兰C GBrr 6070-1995 , eqv ISO 1609: 1986 , Vacuum techno1ogy-Flange
dimensions )
3) GB厅11164一1999 真空镀膜设备通用技能条件
4) GBrr 13306 标牌
5) 18厅1090 J 型真空用橡胶密封圈型式及尺度
6) 18厅1091 10 型和骨架型真空用橡胶密封圈型式及尺度
7) JBrr 1092 0 型真空用橡胶密封圈型式及尺度
8) 18厅7673 真空设备类型编制办法
三、型式与基本参数
1. 构造方式
设备主要由镀膜室、蒸腾系统、真空系统、机架、保护设备及电气控制设备构成c
2. 基本参数
设备的基本参数应符合表I 的规矩。

 
1. 类型
设备的类型应符合JB厅7673 的规则。